Glacann an ionstraim seo modh tomhais interferometric neamhtheagmhála, aistrithe céim optúla, ní dhéanann sé damáiste do dhromchla an phíosa oibre le linn tomhais, is féidir leis na grafaicí tríthoiseach de mhicrea-topagrafaíocht dromchla na bpíosaí oibre éagsúla a thomhas go tapa, agus an tomhas a anailísiú agus a ríomh. torthaí.
Cur síos ar an Táirge
Gnéithe: Oiriúnach chun garbh an dromchla de bhloic tomhais éagsúla agus páirteanna optúla a thomhas; doimhneacht reticle an rialóra agus an dhiailiú; tiús sciath an struchtúir grating grating agus deilbhíocht struchtúr an teorainn sciath; dromchla an diosca maighnéadach (optúil) agus an ceann maighnéadach Tomhas struchtúir; roughness dromchla wafer sileacain agus tomhas struchtúr patrún, etc.
Mar gheall ar chruinneas tomhais ard na hionstraime, tá tréithe tomhais neamhtheagmhála agus tríthoiseach aige, agus glacann sé rialú ríomhaireachta agus anailís tapa agus ríomh torthaí tomhais. Tá an ionstraim seo oiriúnach do gach leibhéal d'aonaid taighde tástála agus tomhais, seomraí tomhais fiontair tionscail agus mianadóireachta, ceardlanna próiseála cruinneas, agus freisin oiriúnach d'Institiúidí ardfhoghlama agus institiúidí taighde eolaíochta, etc.
Na paraiméadair theicniúla is mó
Raon doimhneacht míchothromaíochta micreascópacha dromchla a thomhas
Ar dhromchla leanúnach, nuair nach bhfuil aon athrú tobann airde níos mó ná 1/4 tonnfhad idir dhá picteilín in aice láimhe: 1000-1nm
Nuair a bhíonn sóchán airde níos mó ná 1/4 den tonnfhad idir dhá phicteilín in aice láimhe: 130-1nm
Atrialltacht tomhais: δRa ≤0.5nm
Méadú lionsa cuspóir: 40X
Cró uimhriúil: Φ 65
Fad oibre: 0.5mm
Réimse radhairc na hionstraime Amharc: Φ0.25mm
Grianghraf: 0.13 × 0.13mm
Formhéadú na hionstraime Amharc: 500 ×
Grianghraf (breathnaithe ag scáileán ríomhaire)-2500 ×
Eagar tomhais glacadóra: 1000X1000
Méid picteilíní: 5.2 × 5.2µm
Am tomhais samplála (scanadh): 1S
Frithchaiteacht scáthán caighdeánach ionstraim (ard): ~50%
Frithchaitheamh (íseal): ~4%
Foinse soilsithe: lampa gealbhruthach 6V 5W
Tonnfhad scagaire trasnaíochta glas: λ≒530nm
Leathleithead λ≒10nm
Príomh-ardaitheoir micreascóp: 110 mm
Ardaitheoir boird: 5 mm
Raon gluaiseachta i dtreo X agus Y: ~10 mm
Raon rothlach tábla oibre: 360 °
Raon tilt an tábla oibre: ±6°
Córas ríomhaireachta: P4, 2.8G nó níos mó, taispeáint scáileáin chomhréidh 17-orlach le cuimhne 1G nó níos mó